第816章1802（2 / 2）

　　 iter自己搞光刻机？

　　 iter还别说，人家的确是自己搞过光刻机。

　　 当然，那都多少年的事情，那个时候的光刻机技术还并没有什么太高的难度，拿着一大堆零件组装光刻机的话，对于iter来讲，并不算太难的事情。

　　 但是，组装起来容易，可想要将其调校得好，就难了。

　　 特别随着精度的不断推进，稍微一点的振动，就会影响光刻效果。

　　 专业的事情，最终还是得要让专业的人来干。

　　 以技术来论的话，euv llc联盟让尼康或者墨塔微电加入，那是最为好的。

　　 人类的事情，那都不光是技术能够解决的。

　　 在这个时候，euv llc联盟需要一家能够绝对被掌控的，有发展潜力的光刻机企业。

　　 阿斯麦虽然是尼德兰企业的一家小企业，可是人家把身段给放得很低啊！

　　 反正都已经这样了，为了活下去，什么条件都是能够答应。

　　 详细的了解了一番墨塔微电现在的发展，陈怀庆觉得还挺是不错的。

　　 现在墨塔微电还是得要提升产品的可靠性。

　　 至于说euv llc联盟……

　　 euv技术方案在此时，是一个看起来极其激进的方案，技术难度极其的大。

　　 相比起激进的技术方案，还有更加稳妥的路线可走，在前代的技术上面稳定的推进技术进步。

　　 比如说采用157nm的f2激光。

　　 陈怀庆很清楚，传统的光刻机技术方案只能够做到10纳米以上的制程工艺。

　　 2010年的时候，193nm光源的沉浸式光刻机还能够生产11nm制程工艺的芯片。

　　 如果墨塔